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残余压力或极限真空度一指该泵所能达到的最低压力(绝对)。用真空泵抽吸某一密闭容器中的气体,无论抽吸的时间有多久,容器中的压力是不能无限地降低到零,即绝对真空,这是因为当进气压力低于某一值后,泵内液体就会汽化,泵无法继续吸入新气体,容器之中压力在这种情况下,再也不能降低,此时的绝对压力称为残余压力。